装图,单晶炉的主要部件包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、氩气充填系统及水冷却系统。
而机架由底座、上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置安装在底座内的平台上,主炉室安装在底座的上平面上,上面与翻板阀密封联结,副室放在翻板阀上,籽晶提拉头安装在副室上,坩埚驱动装置与炉室通过波纹管密封联结,液压系统中提升油缸安装在下立柱上。
液压泵放在主机附近的适当位置,真空系统、水冷系统固定在机架上,主炉室是炉子的心脏部位,热场系统安装在内。除了这些主要机构,还有一些附属结构,比如电气控制柜、加热变压器、电源滤波柜、除尘器等……”
他一边讲解一边用教鞭在大图上比划着。因为大家来之前已经自学过一些相关内容,对这幅图有了不少的了解,所以他的讲解并没有人打断,也没有人表现出听得糊涂的神色。
(感谢赫赫威龙的打赏,感谢会爬树的鱼、78950731的月票)(未完待续。。)