芯片电路结构，这种更短的波长能刻印40以下的纳米电路结构。
一般而言，芯片的掩模层数最多达30或40层，因此中晶微在内的这些芯片制造商生产芯片时，通常会同时用到这三种设备。
氟化氪和氟化氩光源是瑞星科技公司向科学院光电研究院进行订购的，双方之间的合作很早就开始了，到现在科学院光电研究院已经能够批量生产高性能的这两种光源。
而在极紫外光光源上瑞星科技公司还是自行研制设计为主，到现在也是终于将这套光源给搞定了。
瑞星科技公司公司在国内挑选产品子系统供应商主要还是以国内的这些科研研所和高校的课题实验室为主，甚至主动地向这些科研院所提供设备和资金的支持来进行扶持。
因为杨杰本人在科技界有着雄厚的人脉资本，再加上罗秉桓和李开元以及李力持和薛岳东等中央首长的支持，这些项目也是推动很快，差不多用了六七年时间就完全弄出了一套完整的产业链。
等到国外的这些半导体设备产商回过神来的时候瑞星科技公司已经是成了气候，进入了光刻机市场领域的第二梯队，能够自行设计研制生产出光刻机，也是跟艾斯摩尔和康尼和农佳集团公司在这个细分市场展开了长达六年多的混战。
因为瑞星科技公司公司在沉浸式光刻机这个领域非常具有技术优势，到现在为止基本上是将霓虹国国内的两家生产光刻机的公司在这一块的业务给打残了。
当年瑞星科技公司公司在推出第一代的光刻机后，海外众多的供应商就默契地进行了关键元器件的禁运，不过杨杰早就让公司开始就存了很多库存，而且也是很早就开始了国产化替代。
瑞星科技公司公司国产化的低端光刻机迅速地投入到技术含量较低的后道封装和液晶面板刻蚀等领域，在这些领域霸占了国内绝大部分的市场。
虽然在IC制造领域的光刻机瑞星科技公司整体性能不是很好，但是也能用，因为华兴科技集团公司跟国内的几大晶圆厂是绑在一起的，海外这些半导体产商要想进来基本上都是要华兴科技集团公司同意的。
杨杰也是逼着这些半导体设备产商向瑞星科技公司提供零部件，当然这些零部件还是由瑞星科技公司公司自主设计研发，也是保证了瑞星科技公司公司中高端光刻机设备上自始至终始终保有一定的市场份额。
现在瑞星科技终于是攻克了极紫外光刻机，并且投入了实用化，率先进入了光刻机的第一梯队，而且目前也