传统的气体激光光源，我们这套光源并不需要长时间的预热，在非常短的时间里面就可以提高到最大的功率，并且不需要中途进行激光燃料的更换，最大限度地减轻客户的使用成本。”
“现在我们研制的这套光源系统总的输出功率可以做到220瓦，完全可以满足双工件台同时进行工作。经过大量的模拟测试，搭载这套光源系统的光刻机具备每小时刻蚀140张12英寸晶圆的能力。”
在何玉光进行解说的同时，身后的超大屏幕上也是演示了光源系统工作的模拟动画，台下的众人此时都是露出不能置信的神情！
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